Анализаторы остаточных газов производства Hiden Analytical предназначены для анализа наличия малых количеств веществ в газообразном состоянии. Они с успехом могут быть использованы для мониторинга процессов нанесения тонких плёнок из газовой фазы, диагностики вакуумных компонентов и поиска течей, поиска загрязнений и примесей и т.п.

Компанией Hiden Analytical производятся 2 основные модели анализаторов остаточных газов:

• Модель HMT1000-RC предназначена для диагностики вакуума и мониторинга процессов и поиска течей.
• Система HPR30 используется для мониторинга в вакуумных камерах для процессов типа CVD, плазменного напыления, дегазации вакуумных камер и т.п.

Анализаторы работают под управлением ПО MASsoft, обеспечивающего управление приборами и обработку экспериментальных данных. Существует возможность управления анализаторами из системы LabView. Это позволяет встраивать анализаторы остаточных газов в состав более сложных комплексов: